PVD&RPD光伏上下料機是HJT電池制備TCO導電膜工藝中的上下料設(shè)備,PVD制備TCO導電膜為雙面鍍膜,是HJT的第三道工序,對于精度的要求較高。載板與硅片的間隙理論精度0.1mm,實際在0.2mm以內(nèi)就能滿足要求。上下料機通過皮帶傳輸硅片至夾具取片位,夾具夾持硅片后將硅片放入載板儲片槽內(nèi),再將裝滿硅片的載板送入工藝腔內(nèi)鍍膜沉積。由于皮帶打滑或其它因素會導致傳輸硅片過程中存在位置差異,導致硅片不能精準放入載板儲片槽內(nèi),需要對硅片進行對位糾偏處理。
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設(shè)備痛點
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糾偏CT難以提升,調(diào)試周期長
目前國內(nèi)設(shè)備節(jié)拍基本處于1.8秒以上,客戶期望突破0.7秒,且載板與硅片精度<±0.15mm,增加業(yè)內(nèi)競爭力。
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空間緊湊接線繁瑣,焊線及排查故障難
驅(qū)動器和網(wǎng)線數(shù)量多,絕對值電池盒較大且焊線難度高,占電柜空間且人工+線材成本高;客戶希望省空間省時省力。
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整套成本高
糾偏軸數(shù)多,整體成本偏高,客戶希望具有高性價比。
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解決方案
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一次對位糾偏技術(shù)
通過一次對位糾偏技術(shù),將原先的2次拍照,2次糾偏,優(yōu)化為1次拍照,1次糾偏,減少對位平臺XYθ動作次數(shù),大大提升設(shè)備節(jié)拍。
通過一次拍照獲得的數(shù)據(jù)進行處理,分別計算得出角度糾偏值,及角度糾偏后帶來的XY二次偏移值,按糾偏結(jié)構(gòu)進行動作分解后,依次進行角度糾偏與XY糾偏。
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雷賽HJT對位平臺糾偏控制系統(tǒng)方案架構(gòu)
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雷賽方案優(yōu)勢及價值
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綜合成本節(jié)省75%
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整套方案更高效
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安裝空間節(jié)省50%以上
4
主控帶軸能力更強
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雷賽HJT-PVD&RPD整套控制系統(tǒng)方案架構(gòu)